EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Membran ceirmeag SiC
’S e pàirt innleadaichte mionaideach a th’ anns a’ Mhembran Ceirmeach SiC a chaidh a leasachadh le Semixlab Semiconductor, pàirt silicon carbide porous a chaidh a dhealbhadh airson àrainneachdan fìor-ghlan agus àrd-theodhachd ann am pròiseasan CVD, MOCVD, agus PECVD. Le seasmhachd cheimigeach, neart meacanaigeach, agus seoltachd teirmeach air leth, tha e a’ toirt seachad smachd earbsach air sruthadh gas, sìoladh mìrean, agus casg air truailleadh taobh a-staigh reactaran saothrachaidh leth-chonnsachaidh.
Tuairisgeul
Ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh adhartach, tha am Membran Ceirmeach SiC na phàirt ioma-ghnìomhach a bheir buaidh dhìreach air seasmhachd phròiseasan, cunbhalachd wafer, agus coileanadh toraidh iomlan. Taobh a-staigh siostaman CVD, MOCVD, agus PECVD, tha e ag obair mar eadar-aghaidh deatamach eadar gasaichean pròiseas agus an àrainneachd ath-bhualadh, a’ dèanamh cinnteach à smachd mionaideach air daineamaigs sruthadh, cothromachadh teirmeach, agus casg truailleadh.
Tro ailtireachd porous gu math aonfhoirmeil, bidh am membran SiC a’ brosnachadh lìbhrigeadh gas laminar agus air a sgaoileadh gu cothromach thairis air uachdar a’ chlais. Bidh an raon sruthadh aonfhoirmeil seo a’ lughdachadh atharrachaidhean ionadail ann an dùmhlachd ro-ruithear, agus mar sin a’ neartachadh aonfhoirmeachd tighead film agus cunbhalachd co-dhèanamh rè tasgadh epitaxial no dielectric. Aig an aon àm, bidh structar pore grinn a’ membran ag obair mar shìoltachan gràinean àrd-teòthachd èifeachdach, a’ glacadh dùmhlachdan, fuigheall gualain, agus gràineanan fo-micron mus ruig iad sòn gnìomhach a’ chlais - feart riatanach ann a bhith a’ lughdachadh dùmhlachd locht agus a’ cumail suas earbsachd àrd innealan.
A bharrachd air sruthadh agus sìoladh, tha maitrís ceirmeag SiC a’ toirt seachad bacadh teirmeach is ceimigeach làidir taobh a-staigh seòmar a’ phròiseis. Bidh e a’ sgaradh phàirtean mothachail bho ghnèithean ath-ghnìomhach, a’ lughdachadh truailleadh air ais, agus a’ gleidheadh glanadh an t-seòmair rè chuairtean cinneasachaidh fada. Ann an roinnean sgaoilidh, faodar an aon teicneòlas membran a chleachdadh gus cuideam a dhèanamh seasmhach agus fo-thoraidhean a ghlacadh, a’ cur ri loidhnichean sgaoilidh nas glaine agus eadar-ama cumail suas nas fhaide.
Le bhith a’ toirt nan gnìomhan sin còmhla ann an aon phàirt sheasmhach, chan e a-mhàin gu bheil am Membran Ceirmeach SiC a’ leasachadh èifeachdas obrachaidh reactaran CVD agus MOCVD ach cuideachd a’ comasachadh àrainneachd pròiseas nas seasmhaiche agus nas ath-aithrisiche - fear a choinnicheas ri riatanasan teann purrachd is coileanaidh saothrachadh leth-chonnsachaidh an ath ghinealach.
Ciamar a tha membran ceirmeag SiC air a dhèanamh
Bùth Bathar Semixlab
