EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Uibheagan film tana piezoelectric PZT
Tha na Wafers film tana PZT Piezoelectric aig Semixlab nan stuthan gnìomhach bunaiteach airson innealan MEMS àrd-inbhe. Le bhith a’ cleachdadh phròiseasan PVD (Physical Vapor Deposition) adhartach, tha sinn air tasgadh film tana PZT polycrystalline a choileanadh air fo-stratan àbhaisteach 6-òirleach agus 8-òirleach, air an comharrachadh le cunbhalachdan piezoelectric air leth àrd agus cunbhalachd nas fheàrr. Le rèidhleanachd atamach agus smachd mionaideach air treòrachadh criostail, bidh na toraidhean againn a’ leasachadh èifeachdas tionndaidh electromeacanaigeach gu mòr agus aig an aon àm a’ dèanamh cinnteach à cunbhalachd ìre cinneasachaidh agus toradh àrd. Tha iad gu foirfe freagarrach airson tagraidhean MEMS ùr-nodha - a’ gabhail a-steach transducers fuaimneach, micropumpaichean mionaideach, agus conaltradh RF - a’ toirt cumhachd do ar luchd-ceannach an beàrn bho R&D obair-lann gu cinneasachadh mòr-sgèile gun fhiosta.
Tuairisgeul
Stac àbhaisteach
Air a dhealbhadh airson saothrachadh MEMS prìomh-shruthach, bidh sinn a’ toirt seachad structaran cruach àbhaisteach, làn-dhearbhte a nì cinnteach à amalachadh gun fhiosta le loidhnichean giullachd leth-chonnsachaidh.
| Layer | Gnìomh bunaiteach | Feartan teicnigeach |
| Electrode as Àirde | Transmission Signal | Seoltachd àrd agus seasmhachd pròiseas sàr-mhath a’ cleachdadh meatailt uasal. |
| Sreath Piezoelectric | Tionndadh Cumhachd | Film tana PZT àrd-dùmhlachd, le stiùireadh làidir (100) agus feachd dràibhidh àrd. |
| Sreath Bufair | Treòrachadh criostalach | Lùth eadar-aghaidh air a leasachadh; a’ cur bacadh air sgaoileadh eileamaid; a’ neartachadh strì an aghaidh sgìths ferroelectric. |
| Electrode Ìosal | Bunait Àrd-earbsachd | Electrode meatailt uasal àrd-inbhe a nì cinnteach à seasmhachd dealain fad-ùine. |
| Sreath Greamachaidh | Ceangal & Ceangal | A’ neartachadh an greamachadh meacanaigeach eadar an electrod agus an t-substrate. |
| Fo-strat (Si/SOI) | Taic Structarail | Gu tur co-chòrdail ri àrd-ùrlaran Silicon (Si) no SOI àbhaisteach 8-òirleach. |
Seirbheisean Gnàthachaidh & Fùirneis
Fuasglaidhean Sònraichte airson Tagraidhean Piezoelectric Àrd-choileanaidh
ar seirbheisean
● Filmichean Tana Gnàthaichte: Seòrsachan film sònraichte & gleusadh tighead mionaideach.
● Fùirneis OEM: Fàs àrd-inbhe air uaifearan a tha air an solarachadh leis an luchd-ceannach.
● Amalachadh SOI: Tasgadh sònraichte airson RF/MEMS adhartach.
Sònrachaidhean
| paramadair | Sònrachadh |
| Meud an Uafair | 6-òirleach / 8 òirleach |
| Frith-aghaidh Si as àirde | > 5,000 Ω`cm |
| Dopant & Tiughas | Gnàthaichte a rèir dealbhaidh |
| Sreath BOX | Taic airson diofar thiugh |
Tagraidhean
Tha na wafers piezoelectric PZT 8-òirleach againn air an innleachadh gus coinneachadh ri iarrtasan àrd-chruinneas thar diofar ghnìomhachasan, agus tha iad nan clach-oisinn airson tionndadh electromeacanaigeach èifeachdach:
● Nuadh-eòlas Fuaime is Conaltraidh: Freagarrach airson Transducers Ultrasonach Piezoelectric Micromachined (pMUT) agus MEMS Fuaime (me, luchd-labhairt agus microfònan àrd-choileanaidh). Le cugallachd agus cunbhalachd ìre nas fheàrr, bidh na wafers againn a’ comasachadh claisneachd nas soilleire agus ìomhaighean ultrasonach àrd-chruinneas. A bharrachd air an sin, tha feartan Q-factor àrd a’ freagairt gu foirfe air criathragan RF MEMS airson giullachd chomharran 5G/6G.
● Sruthain Mhionaideach & Nano-Ghnìomhachadh: Airson Cinn-Clò-bhualaidh Inkjet agus smachd lionn mionaideach, bidh na co-èifeachdan piezoelectric àrda againn a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd àrd-tricead agus cunbhalachd meud boinne. Ann am Micropumpaichean Meidigeach/Bòidhchead agus Atomization, tha strì an aghaidh sgìths sàr-mhath a’ gealltainn smachd sruthadh mionaideach rè obrachadh fad-ùine.
● Earbsachd Gnìomhachais is Meidigeach: Bho ghlacadh gluasadan air sgèile bheag gu nebulization ultrasonach àrd-lùtha, bidh na fuasglaidhean PZT againn a’ toirt seachad toradh cumhachd seasmhach, a’ cuideachadh luchd-dèiligidh gus faighinn thairis air na cnapan-starra meud is èifeachdais a tha aig draibhearan electromagnetic traidiseanta.
Buannachd farpaiseach
Èifeachdas Tionndaidh Dealan-mheacanaigeach Sàr-mhath
Stèidhichte air teicneòlas smachd treòrachaidh inneach adhartach, tha co-èifeachd piezoelectric èifeachdach fìor àrd e31,f aig an fhilm tana. Mar phrìomh thùs cumhachd airson gnìomhaichean MEMS, leigidh e le toradh deformachaidh àrd-tricead, mòr-ghluasad aig bholtaids dràibhidh fìor ìosal.
Co-ionannachd Pròiseas Ìre Riochdachaidh Mòr
Tha teicneòlas smachd cruthachadh film aig ìre atamach a’ dèanamh cinnteach gu bheil cunbhalachd tighead fhilmichean tana làn-wafer 8-òirleach a’ ruighinn ìrean coimeasach gnìomhachais. Tha garbh-chruth uachdar fo-nanometer a’ coinneachadh gu foirfe ri riatanasan giullachd meanbh-structaran fuaimneach is optigeach mionaideach.
Càileachd agus Earbsachd Teann
Bidh dùmhlachd locht ìosal agus smachd nas fheàrr air mìrean a’ leasachadh gu mòr toradh pàtrain ann an saothrachadh micro-nano às dèidh sin. Bidh structar cruach ioma-fhilleadh leasaichte agus dealbhadh sreath bufair sònraichte a’ cur casg air sgìths ferroelectric gu h-èifeachdach, a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd fad-ùine innealan fo chumhachan obrachaidh iom-fhillte.
