Tiùb sgaoilidh grian-chlach àrd-ghlanachd

Tha Tiùb Sgaoilidh Quartz Àrd-ghlanachd Semixlab air a dhealbhadh gu sònraichte airson pròiseasan teirmeach àrd-teodhachd ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh, a’ gabhail a-steach ocsaidachadh, sgaoileadh dopant, agus annealing.

Air a dhèanamh à silica leaghte fìor-ghlan (≥99.99% SiO₂), tha gach tiùb air a dhealbhadh gus seasmhachd cheimigeach air leth, truailleadh as lugha, agus cunbhalachd teirmeach mionaideach a lìbhrigeadh - a’ dèanamh cinnteach à toraidhean giullachd wafer cunbhalach ann an àrainneachdan seòmar-glan dùbhlanach.

Ge bith an ann ann an àmhainnean sgaoilidh dìreach no còmhnard a tha iad air an amalachadh, tha tiùban grian-chlach Semixlab air an cruthachadh gu mionaideach agus air an deuchainn gu mionaideach gus coinneachadh ri riatanasan teann saothrachadh IC, LED, MEMS, agus innealan cumhachd.

Tagraidhean ann am Pròiseasan Leth-sheoltairean

1. Thermal Oxidation

Ann an àmhainnean ocsaididh teirmeach, bidh tiùban sgaoilidh grian-chlach ag obair mar a’ phrìomh sheòmar ath-bhualadh far a bheil uaifearan silicon fosgailte do cheò O₂ no H₂O aig teòthachdan àrda (900–1150°C).

● A’ toirt seachad àrainneachd ocsaidean glan is seasmhach airson fàs SiO₂ cunbhalach.

● A’ cur às do thruailleadh ian meatailt, a’ dèanamh cinnteach à ionracas dielectric àrd airson ocsaidean geata is aonaranachd.

Tha Tiùb Sgaoilidh Quartz àrd-ghlanachd air leth freagarrach airson giullachd wafer

2. Sgaoileadh Dopant

Bithear a’ cleachdadh tiùban sgaoilidh grian-chloiche gus dadaman dopant (leithid fosfar no boron) a sgaoileadh a-steach don t-substrate silicon gus pròifilean snaim a tha thu ag iarraidh a chruthachadh.

● Bidh neo-ghnìomhachd cheimigeach sàr-mhath a’ cur casg air truailleadh rè ath-bheachdan POCl₃ no BBr₃.

● A’ cumail suas purrachd àrd eadhon ann an àile stèidhichte air halogen.

3. Pròiseasan Annealing agus Drive-In

Às dèidh cuir a-steach no tasgadh ian, bidh na wafers a’ faighinn teasachaidh aig teòthachd àrd gus na dopants a ghnìomhachadh agus milleadh air an lìonra a chàradh.

● Bidh tiùban grian-chlach a’ toirt seachad seòmar le glè bheag de thruailleadh a thaobh teirm airson toraidhean seasmhach agus ath-riochdachail.

● Freagarrach airson àrainneachdan teasachaidh gas N₂ agus cruthachaidh.

4. Giullachd Teirmeach LPCVD agus R&D

Ann an LPCVD no àmhainnean rannsachaidh air sgèile bheag, faodaidh tiùban sgaoilidh grian-chlach a bhith nan seòmar ath-bhualadh agus mar sheòmar cuibhreachaidh.

● Freagarrach airson tasgadh fhilmichean polysilicon, silicon nitride, agus ocsaid.

● A’ dèanamh cinnteach à cruthachadh ìosal de ghràinean agus ath-aithriseachd àrd thar ruith.

Buannachdan Semixlab

1. Purrachd is Lorg-chomas Stuthan

Tha gach tiùb grian-chlach air a dhèanamh à silica leaghte fìor-ghlan a tha air a thoirt bho sholaraichean barrantaichte. Tha aithisgean mion-sgrùdaidh ICP-MS rim faighinn air iarrtas, a’ gealltainn gum faodar gach baidse a leantainn.

2. Saothrachadh is Gnàthachadh Mionaideach

Bidh Semixlab a’ tabhann dealbhaidhean gnàthaichte gus coinneachadh ri tomhasan sònraichte an àmhainn, pròifilean teirmeach, agus pàtrain sruthadh gas a tha a dhìth air luchd-ceannach.

Am measg nan roghainnean tha:

● Rèiteachaidhean tiùba dìreach no còmhnard

● Trast-thomhasan gnàthaichte, tighead balla, agus flanges deiridh

● Crìochnachaidhean uachdar snasta no gràbhalaichte

● Dealbhaidhean làimhseachaidh sònraichte airson luchd-giùlain ioma-wafer

3. Deuchainn Teann & Dearbhadh Càileachd

Bidh gach tiùb sgaoilidh a’ dol tro sgrùdadh tomhasach, deuchainn air ionracas uachdar, agus atharrais cuideam teirmeach mus tèid a chuir air falbh. Tha seo a’ dèanamh cinnteach gu bheil e co-chòrdail ri siostaman fùirneis sgaoilidh as fheàrr sa ghnìomhachas leithid TEL, Kokusai, Centrotherm, agus ASM.