0200-36682 Sgaoileadh Gas Ìochdarach Quartz Liner

’S e pàirt lìnidh grian-chlach innleadaichte gu mionaideach a th’ anns an AMAT 0200-36682 Liner Quartz Lower Gas Dist a chaidh a dhealbhadh airson siostaman tasgadh leth-chonnsachaidh Stuthan Gnìomhaichte (AMAT). Mar as trice, tha am pàirt seo co-cheangailte ris an roinn cuairteachaidh gas ìosal taobh a-staigh seòmraichean tasgadh leasaichte le plasma, gu sònraichte ann an tagraidhean giullachd film tana PECVD agus dielectric.

Air a dhèanamh à grian-chlach leaghte àrd-ghlan, tha an lìnigeadh na stuth caitheamh seòmar deatamach a tha a’ toirt taic do sheasmhachd plasma, cunbhalachd sruthadh gas, smachd truailleadh, agus ath-aithris phròiseasan ann an àrainneachdan saothrachaidh leth-chonnsachaidh adhartach.

Aig Semixlab, bidh sinn a’ toirt seachad pàirtean a bharrachd leth-chonnsachaidh agus stuthan consumichte seòmar àrd-inbhe a choinnicheas ri inbhean dùbhlanach goireasan saothrachaidh wafer, ath-nuadhaichean uidheamachd, agus innleadairean phròiseasan leth-chonnsachaidh air feadh an t-saoghail.

Fiosrachadh bunaiteach toraidh

Mar as trice, bidh an lìnigeadh AMAT 0200-36682 air a stàladh taobh a-staigh co-chruinneachadh sgaoilidh gas ìosal nan seòmraichean tasgaidh far am feumar gasaichean pròiseas, daineamaigs plasma, agus seasmhachd teirmeach a smachdachadh gu mionaideach.

Leis gu bheil co-phàirtean quartz ag obair gu dìreach taobh a-staigh àrainneachdan plasma cruaidh, tha iad air an seòrsachadh mar phàirtean pròiseas luachmhor a dh’ fheumas sgrùdadh agus ath-chur bho àm gu àm.

Prìomh Ghnìomhan ann am Pròiseasan Uidheam Leth-sheoltairean

1. Seasmhachd Crìche Plasma

Is e aon de na dreuchdan as cudromaiche aig lìnigeadh AMAT 0200-36682 cuideachadh le bhith a’ mìneachadh agus a’ daingneachadh crìoch a’ phlasma taobh a-staigh seòmar an tasgaidh.

Ann an siostaman PECVD agus CVD, bidh giùlan plasma a’ toirt buaidh dhìreach air:

● Co-ionannachd tighead film

● Cunbhalachd ìre tasgaidh

● Smachd pròifil oir

● Coileanadh toradh uaifearan

● Seasmhachd tomhas èiginneach

Bidh an lìnigeadh grian-chloiche a’ cuideachadh le bhith a’ cumail suas àrainneachd plasma fo smachd le bhith a’ toirt seachad crìoch dielectric seasmhach timcheall air roinn sgaoilidh gas ìosal.

2. Leasachadh Sgaoilidh Sruthadh Gas

Bidh an lìnigeadh cuideachd a’ cur ri riaghladh sruthadh gas leasaichte taobh a-staigh an t-seòmair.

Tha sgaoileadh gas cothromach riatanach airson:

● Tasgadh film cothromach

● Caochladh pròiseas nas lugha

● Ath-aithris seasmhach bho wafer gu wafer

● Cunbhalachd phròiseasan nas fheàrr thar bhaidsean cinneasachaidh

Le bhith a’ toirt taic do ailtireachd sgaoilidh gas an t-seòmair, bidh an lìnigeadh sgaoilidh gas as ìsle a’ cuideachadh le bhith a’ dèanamh cinnteach à lìbhrigeadh cunbhalach de ro-ruithear thairis air uachdar a’ chliath-bhùird.

3. Smachd air mìrean agus truailleadh

Tha truailleadh mìrean fhathast mar aon de na draghan as cudromaiche ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh.

Mar phàirt seòmar a tha mu choinneamh plasma, bidh an lìnigeadh grian-chlach a’ cuideachadh le bhith a’ lughdachadh:

● Gineadh mìrean seòmar

● Cunnartan truailleadh meatailt

● Sgoltadh tasgaidh

● Cruthachadh sprùilleach air adhbhrachadh le plasma

Tha stuthan grian-chlach àrd-ghlan air an cleachdadh gu farsaing oir bidh iad a’ lughdachadh gluasad truailleadh chun na wafer rè phròiseasan tasgaidh adhartach.

4. RF agus Dealanach

Tha pàirt chudromach aig lìnigeadh grian-chloiche ann an riaghladh raon RF cuideachd.

Leis gu bheil cuartz leaghte a’ dìon dealain fhad ‘s a tha e fhathast follaiseach do RF, tha e a’ comasachadh:

● Ceangal RF seasmhach

● Giùlan slige plasma fo smachd

● Cothrom nas lugha air arcadh

● Seasmhachd nas fheàrr ann an impedance seòmar

Tha seo a’ cur ri maidseadh seòmar nas earbsaiche agus ath-aithris phròiseasan nas fheàrr rè ruith cinneasachaidh fada.

5. Taic airson Saothrachadh Leth-sheoltairean Adhartach

Tha co-phàirtean leithid an AMAT 0200-36682 riatanach airson seasmhachd àrd phròiseasan a chumail suas ann an àrainneachdan saothrachaidh leth-chonnsachaidh adhartach, nam measg:

● Saothrachadh innealan loidigeach

● Dèanamh cuimhne

● Tasgadh dielectric adhartach

● Giullachd film tana

● Riochdachadh uaifearan àrd-tomhas-lìonaidh

Mar a bhios nódan pròiseis a’ sìor chrìonadh, tha stuthan consumichte seòmar leithid lìnigeadh grian-chloiche a’ sìor fhàs cudromach airson cruinneas pròiseis agus coileanadh toraidh a chumail suas.

Carson a thaghas tu Semixlab?

Tha Semixlab ag amas air pàirtean a bharrachd leth-chonnsachaidh earbsach agus stuthan consumaidh seòmar a thoirt seachad airson obrachaidhean saothrachaidh leth-chonnsachaidh cruinneil.

Tha na buannachdan againn a’ toirt a-steach:

● Lorg phàirtean uidheamachd leth-chonnsachaidh proifeasanta

● Modhan sgrùdaidh càileachd teann

● Taic airson pàirtean ùraichte agus pàirtean ùra

● Comasan solair cruinneil luath

● Tuigse theicnigeach air bathar-cruaidh pròiseas leth-chonnsachaidh

● Eòlas air a bhith a’ toirt taic do phàirtean àrd-ùrlar AMAT

Tha sinn a’ tuigsinn riatanasan obrachaidh factaraidhean leth-chonnsachaidh, solaraichean seirbheis OEM, agus companaidhean ùrachaidh uidheamachd, agus tha sinn dealasach a thaobh co-phàirtean pròiseas earbsach a lìbhrigeadh a tha a’ toirt taic do choileanadh cinneasachaidh seasmhach.