0200-10243 Fàinne Sgàil 150mm

1. Ro-shealladh toraidh

'S e pàirt grian-chlach àrd-chruinneas a th' anns an AMAT 0200-10243 Shadow Ring 150mm a chaidh a dhealbhadh airson a chleachdadh ann an siostaman giullachd leth-chonnsachaidh 150mm, gu sònraichte ann an seòmraichean gràbhaladh agus CVD.

Air a dhèanamh à cuartz leaghte àrd-ghlanachd, tha an fhàinne sgàil seo air a dhealbhadh gus seasamh ri àrainneachdan plasma cruaidh agus aig an aon àm a’ cumail seasmhachd tomhasach agus ìrean truailleadh ìosal. Tha e air a dhealbhadh gu sònraichte gus a bhith iomchaidh do àrd-ùrlaran Applied Materials, a’ dèanamh cinnteach à co-chòrdalachd agus amalachadh pròiseas earbsach.

Aig Semixlab Technology, bidh sinn a’ toirt seachad fàinneachan sgàil ath-chuir àrd-inbhe le smachd teann air purrachd stuthan, cruinneas innealachaidh, agus crìochnachadh uachdar gus coinneachadh ri riatanasan teann saothrachadh leth-chonnsachaidh adhartach.

2. Dreuchd ann an Uidheam & Dreuchd Gnìomhach

Tha an fhàinne sgàil air a chuir a-steach timcheall air iomall a-muigh an wafer taobh a-staigh seòmar a’ phròiseis, a’ cruthachadh eadar-aghaidh chudromach eadar oir an wafer agus an àrainneachd plasma mun cuairt.

Suidheachadh àbhaisteach:

● A’ cuairteachadh an uaifr air a’ chuck electrostatach (ESC) no an glacadair

● Suidhichte taobh a-staigh crios nochdaidh plasma

● Suidhichte eadar oir a’ chlòimh agus balla an t-seòmair

Dreuchd gnìomhach san t-siostam:

● Ag obair mar shreath crìche fiosaigeach agus pròiseas

● A’ toirt buaidh air sgaoileadh plasma agus giùlan raon dealain oir

● A’ frithealadh mar phàirt dìon ìobairteach an aghaidh nochdadh dìreach do phlasma

Ann an uidheam leth-chonnsachaidh adhartach, faodaidh eadhon atharrachaidhean beaga ann an suidheachaidhean oir buaidh mhòr a thoirt air coileanadh iomlan a’ phròiseis, a’ dèanamh an fhàinne sgàil na eileamaid chudromach ann an ailtireachd smachd phròiseasan.

3. Prìomh Ghnìomhan & Buaidh a’ Phròiseis

Tha pàirt riatanach aig Fàinne Sgàil AMAT 0200-10243 ann a bhith a’ dèanamh cinnteach à cunbhalachd phròiseasan, seasmhachd toraidh, agus smachd air truailleadh.

Dìon iomall

● A’ dìon oirean na wafer bho bhomadh plasma dìreach

● A’ lughdachadh milleadh oir, sgrìobadh, agus pròifilean gràbhaidh neo-àbhaisteach

Leasachadh Sgaoilidh Plasma

● Bidh e ag atharrachadh dùmhlachd plasma ionadail faisg air oir an uaifeir

● A’ cur casg air cus-ghràbhadh oirean no cus tasgadh

Leasachadh Co-ionannachd

● A’ leasachadh ìre gràbhaladh agus cunbhalachd tighead film air feadh an uaifeir

● A’ lughdachadh sònaichean dùnaidh oir

Smachd truailleadh

● A’ glacadh fo-thoraidhean agus mìrean pròiseis

● A’ lughdachadh cunnart truailleadh a’ ruighinn uachdaran gnìomhach wafer

Seasmhachd pròiseas

● A’ cumail suas suidheachaidhean pròiseas ath-aithriseach thar iomadh cearcall

● A’ toirt taic do smachd nas teinne air feartan CD (tomhas èiginneach) agus film

4. Modhan Fàilligeadh Àbhaisteach & Beachdachaidhean Ath-chur

Air sgàth nochdadh leantainneach do phlasma, teòthachd àrd, agus gasaichean ath-ghnìomhach, bidh fàinneachan sgàil buailteach do chrìonadh mean air mhean. Tha tuigse air dòighean fàilligeadh deatamach airson seasmhachd phròiseasan a chumail suas.

Modhan fàilligeadh cumanta:

① Creimeadh Plasma

Call stuth uachdar air adhbhrachadh le bomadh ian

A’ leantainn gu atharrachaidhean meudach agus giùlan plasma atharraichte

② Creimeadh Ceimigeach

Ath-bhualadh le gasaichean ionnsaigheach (me, ceimigean stèidhichte air fluorine)

A’ leantainn gu garbhachadh uachdar agus lagachadh structarail

③ Gineadh Mìrean

Faodaidh meanbh-sgàinidhean no milleadh uachdar mìrean a leigeil ma sgaoil

A’ meudachadh cunnart truailleadh agus a’ lughdachadh toradh

④ Cruinneachadh tasgaidh

Cruinneachadh fo-thoraidhean pròiseis (me, fuigheall polymer)

Bidh e ag atharrachadh suidheachaidhean pròiseas ionadail agus sgaoileadh plasma

⑤ Strus Teirmeach & Sgoltadh

Dh’fhaodadh cearcall teirmeach ath-aithriseach meanbh-bhriseadh adhbhrachadh

A’ dèanamh cron air ionracas meacanaigeach thar ùine

Buaidh fàilligeadh:

● Barrachd truailleadh mìrean

● Caochladh CD oir agus neo-chunbhalachd

● Toradh nas lugha de uaifearan

● Drift pròiseas agus ath-aithris nas lugha

● Tricead cumail suas seòmar nas àirde

Aig Semixlab Technology, bidh sinn a’ dèiligeadh ris na dùbhlain seo tro:

● Taghadh stuthan grian-chlach àrd-ghlan airson truailleadh nas lugha

● Innealachadh mionaideach airson fulangas meudach teann

● Làimhseachadh uachdar air a leasachadh gus strì an aghaidh plasma a leasachadh

● Fuasglaidhean còmhdach adhartach roghainneil (m.e., còmhdach SiC) airson fad-beatha nas fhaide agus gineadh nas lugha de ghràinean

A bheil thu a’ coimhead airson roghainn eile earbsach no ùrachadh coileanaidh?

Tha Semixlab Technology a’ tabhann fuasglaidhean innleadaichte airson fàinneachan sgàil agus roghainnean còmhdach adhartach a tha freagarrach do na riatanasan pròiseas sònraichte agad. Cuir fios thugainn an-diugh gus coileanadh do phròiseas leth-chonnsachaidh a bharrachadh.