Quartz Ring 150mm

Mar phàirt a tha fosgailte do phlasma, tha an fhàinne quartz air a dhealbhadh gus obrachadh ann an àrainneachdan àrd-lùtha agus aig an aon àm a’ cumail seasmhachd structarail agus cunbhalachd pròiseas.

Prìomh fhiosrachadh toraidh

Stuth agus Buannachdan

Tha Cearcall Quartz AMAT 150mm air a dhèanamh à cuartz leaghte ìre leth-chonnsachaidh (SiO₂), stuth a tha aithnichte gu farsaing airson a choileanadh sàr-mhath ann an àrainneachdan giullachd plasma.

Prìomh Bhuannachdan Quartz Leaghte:

Truailleadh glè ìosal

Tha ìrean glè ìosal de neo-chunbhalachdan meatailteach ann an grian-chlach àrd-ghlan, a’ lughdachadh cunnart truailleadh wafer agus a’ toirt taic do inbhean saothrachaidh leth-chonnsachaidh adhartach.

Seasmhachd plasma sàr-mhath

Tha grian-chlach a’ tabhann seasamh làidir an aghaidh bomadh ian agus bleith plasma, ga dhèanamh freagarrach airson a chleachdadh san fhad-ùine ann an seòmraichean sputter etch agus plasma.

Seasmhachd teirmeach àrd

Bidh an stuth a’ cumail suas a shlàinte structarail fo theodhachd àrd agus cearcall teirmeach luath, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh cunbhalach rè giollachd.

Insaladh dealain

Mar stuth neo-ghiùlain, bidh grian-chlach a’ cuideachadh le bhith a’ daingneachadh an achaidh dealain taobh a-staigh an t-seòmair, a’ cur ri sgaoileadh plasma èideadh.

Inertness ceimigeach

Tha grian-chlach an aghaidh gasaichean ath-ghnìomhach a thathas a’ cleachdadh ann am pròiseasan leth-chonnsachaidh, a’ lughdachadh crìonadh agus a’ leudachadh fad-beatha nam pàirtean.

Tha na feartan seo a’ dèanamh grian-chlach leaghte na stuth air leth freagarrach airson co-phàirtean seòmar a tha fosgailte do phlasma agus suidheachaidhean teòthachd àrd.

Gnìomh taobh a-staigh uidheam leth-sheoltaiche

Bidh an AMAT Quartz Ring 150mm a’ coileanadh grunn dhleastanasan deatamach taobh a-staigh seòmraichean giullachd plasma, a’ toirt buaidh dhìreach air seasmhachd a’ phròiseis agus càileachd na wafer.

1. Cuingealachadh agus Smachd Plasma

Bidh fàinne a’ chuartais a’ cuideachadh le bhith a’ mìneachadh sgìre crìche a’ phlasma, a’ cumail smachd air sgaoileadh ian agus a’ daingneachadh giùlan plasma taobh a-staigh an t-seòmair. Tha seo a’ cur ri suidheachaidhean pròiseas a ghabhas ath-aithris agus a tha cunbhalach.

2. Leasachadh Co-ionannachd Oir

Suidhichte faisg air oir a’ chlòimh, tha pàirt chudromach aig an fhàinne ann an:

● A’ riaghladh dùmhlachd plasma aig iomall an uaifeir

● A’ lughdachadh bhuaidhean oir

● A’ leasachadh aonfhoirmeachd gràbhaladh no tasgadh

Tha seo riatanach airson smachd a chumail air tomhas èiginneach (CD) agus toradh iomlan nan wafers.

3. Dìon Seòmar

Mar phàirt ìobairteach, bidh fàinne a’ chuartz a’ gabhail a-steach:

● Stuthan air an spùtadh

● Fo-thoraidhean gràbhaidh

● Nochdadh plasma

Cuidichidh seo le bhith a’ dìon phàirtean seòmar deatamach leithid ballachan meatailt, lìnigeadh, agus chucks electrostatach bho mhilleadh agus truailleadh.

4. Leasachadh Seasmhachd Pròiseas

Le bhith a’ cumail suas geoimeatraidh agus feartan stuthan cunbhalach, tha fàinne a’ chuartz a’ toirt taic do:

● Pàtranan sruthadh gas seasmhach

● Eadar-obrachadh plasma fo smachd

● Gineadh nas lugha de ghràinean

Bidh seo mu dheireadh a’ leantainn gu ath-aithris pròiseas nas fheàrr agus lùghdachadh ann an ùine downt.