0200-09911 Fàinne Còmhdaich Quartz
’S e stuth-caitheamh grian-chloiche àrd-ghlanachd deatamach a th’ anns an AMAT 0200-09911 Quartz Cover Ring a thathas a’ cleachdadh ann an seòmraichean gràbhaladh plasma gus co-phàirtean a-staigh a dhìon agus gus dèanamh cinnteach à coileanadh pròiseas seasmhach. Air a chuir a-steach timcheall air oir na wafer, bidh e ag obair mar bhacadh ìobairteach an aghaidh nochdadh plasma agus aig an aon àm a’ cluich pàirt chudromach ann an smachd pròifil oir agus leasachadh cunbhalachd gràbhaladh. Air a dhealbhadh airson co-chòrdalachd le àrd-ùrlaran gràbhaladh 200mm Applied Materials, tha an fhàinne còmhdaich grian-chloiche seo a’ toirt taic do dhineamaigs sruthadh gas cunbhalach agus a’ lughdachadh chunnartan truailleadh ann an àrainneachdan giullachd àrd-lùtha.
Tuairisgeul
’S e pàirt grian-chlach àrd-ghlan innleadaichte gu mionaideach a th’ anns an AMAT 0200-09911 Quartz Cover Ring a chaidh a dhealbhadh airson a chleachdadh ann an siostaman gràbhaladh plasma. Bidh e ag obair mar fhàinne dìon agus riaghlaidh-phròiseis a tha air a chuir a-steach taobh a-staigh seòmar an gràbhaladh, gu sònraichte ann an àrd-ùrlaran giullachd wafer 200mm.
Air a dhèanamh à grian-chlach leaghte fìor-ghlan, tha am pàirt seo air a bharrrachadh airson àrainneachdan leth-chonnsachaidh fìor dhoirbh air a chomharrachadh le:
● Nochdadh plasma àrd-lùtha
● Gasaichean ceimigeach ath-ghnìomhach (m.e., ceimigean stèidhichte air fluorine)
● Suidheachaidhean rothaireachd teirmeach luath
Aig Semixlab Technology, tha an toradh seo air a dhèanamh le smachd teann air:
● Purrachd stuthan (truailleadh meatailteach ìosal)
● Fulangas tomhasach (deatamach airson smachd pròiseas oir)
● Crìoch uachdar (a’ lughdachadh gineadh mìrean)
Tha seo a’ dèanamh cinnteach à coileanadh cunbhalach ann am pròiseasan saothrachaidh leth-chonnsachaidh adhartach.
Modhan Teip Coitcheann
Mar phàirt a ghabhas ithe a bhios ag obair fo chumhachan plasma cruaidh, tha grunn dhòighean-obrach crìonaidh air a’ Chearcall Còmhdaich Quartz:
1. Creimeadh air adhbhrachadh le plasma
● Garbhachadh uachdar mar thoradh air bomadh ian
● Call stuthan mean air mhean ag atharrachadh geoimeatraidh
Buaidh: Co-ionannachd gràbhaladh nas lugha agus coileanadh pròiseas neo-sheasmhach
2. Tasgadh Ceimigeach agus Truailleadh
● Cruinneachadh poileimeir no fo-thoraidhean air an uachdar
● A’ rùsgadh no a’ rùsgadh rè rothaireachd teirmeach
Buaidh: Gineadh mìrean agus truailleadh uaifearan
3. Sgoltadh cuideam teirmeach
● Bidh cearcallan teasachaidh is fuarachaidh ath-aithriseach ag adhbhrachadh sgàinidhean beaga
● Sgaoileadh sgàinidhean ag adhbhrachadh fàilligeadh structarail
Buaidh: Briseadh obann agus ùine downt gun phlanadh
4. Gineadh Mìrean
● Bidh grian-chlach a tha a’ fàs nas sine ag adhbhrachadh meanbh-bhrisidhean
● Bidh milleadh uachdar a’ leigeil a-mach mìrean a-steach don t-seòmar
Buaidh: Call toraidh agus àrdachadh ann an easbhaidhean
Carson a thaghas tu Teicneòlas Semixlab?
Aig Semixlab Technology, bidh sinn a’ cothlamadh eòlas domhainn air pròiseasan leth-chonnsachaidh le comasan adhartach saothrachaidh grianchloch gus lìbhrigeadh:
● Stuthan grian-chlach àrd-ghlan airson giullachd fìor-ghlan
● Innealachadh mionaideach airson co-chòrdalachd OEM ceart
● Coileanadh fad-beatha air a leasachadh gus cosgais seilbh (CoO) a lùghdachadh
● Smachd càileachd teann a rèir inbhean saothrachaidh leth-chonnsachaidh
Tha na pàirtean ùra againn air an innleachadh gus coinneachadh ri no a dhol thairis air sònrachaidhean OEM, a’ dèanamh cinnteach à amalachadh gun fhiosta agus coileanadh earbsach ann an àrainneachdan gràtaidh dùbhlanach.
Tagraidhean
Dreuchd ann an Uidheam agus Dreuchd Gnìomhach
Suidheachadh stàlaidh
Mar as trice bidh an Cearcall Còmhdaich Quartz air a stàladh:
● Timcheall air oir na wafer
● Air no faisg air iomall a’ chuck electrostatach (ESC)
● Taobh a-staigh crios nochdaidh plasma an t-seòmair ghreamachaidh
Bidh e ag obair mar phàirt den cho-chruinneachadh smachd oir, ag obair còmhla ri co-phàirtean leithid fàinneachan fòcais agus fàinneachan sgàil.
Prìomh ghnìomhan
1. Dìon Seòmar agus Co-phàirtean
Bidh an fhàinne ag obair mar bhacadh ìobairteach, a’ dìon phàirtean deatamach (leithid ESCn agus ballachan seòmar) bho:
● Bombardadh plasma dìreach
● Creimeadh ceimigeach
● Spùtadh air adhbhrachadh le ian
Tha seo a’ leudachadh beatha seirbheis phàirtean seòmar luachmhor gu mòr.
2. Smachd air Oir Plasma agus Seasmhachd Pròiseas
Bidh an geoimeatraidh innleadaichte (me, pròifilean ceumichte agus feartan le beàrn) a’ cuideachadh le:
● Riaghladh sgaoileadh sgàile plasma faisg air oir a’ chliath-uisge
● Lùghdaich claonaidhean buaidh oir
● Leasaich cunbhalachd gràbhaladh agus smachd CD (tomhas èiginneach)
Tha seo gu sònraichte cudromach ann am pròiseasan gluasaid phàtran àrd-chruinneas.
3. Riaghladh Sruthadh Gas agus Fo-thoraidhean
Tha an còmhdach-fàinne a’ cur ri:
● Daineamaigs sruthadh gas fo smachd aig oir a’ chlòimh-uisge
● Lùghdachadh air cruinneachadh polymer ann an roinnean nach eilear ag iarraidh
● Suidheachaidhean seòmar seasmhach thar ruith phròiseasan fada
Tha seo a’ toirt taic dhìreach do ath-aithris agus leasachadh toraidh.
ar seirbheisean

Bùth Bathar Semixlab


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ





