Earrann Còmhdach Còmhdaichte SiC

Ann an àrainneachdan epitaxy leth-chonnsachaidh agus CVD aig teòthachd àrd, tha seasmhachd an t-seòmair, glanadh, agus strì an aghaidh creimeadh a’ cluich pàirt chudromach ann an cunbhalachd innealan. Tha Earrann Còmhdaichte SiC aig Semixlab air a dhealbhadh gu sònraichte airson na suidheachaidhean obrachaidh dùbhlanach a lorgar ann an reactaran epitaxy SiC, siostaman GaN / MOCVD, agus uidheamachd CVD aig teòthachd àrd, far a bheil teòthachd gu cunbhalach a’ dol thairis air 1200–1600 ° C agus bidh ceimigean creimneach clòrinichte no stèidhichte air naitridean ag eadar-obrachadh gu leantainneach le co-phàirtean reactar a-staigh. Air a thogail air grafait innealaichte gu mionaideach agus air a dhìon le còmhdach SiC àrd-ionracas, tha an earrann còmhdaich a’ cruthachadh pàirt chudromach den ailtireachd teirmeach agus raon-sruthadh taobh a-staigh seòmar an ath-bhualaidh.

Taobh a-staigh reactaran epitaxial SiC—gu sònraichte ann an siostaman a chaidh a dhealbhadh airson saothrachadh mòr-mheud 4H-SiC agus 6H-SiC—tha an SiC Coated Cover Earrann a’ toirt seachad eadar-aghaidh dìon seasmhach a dhìonas structaran a-staigh bho cheimigean beairteach ann an HCl a thathas a’ cleachdadh gus uireasbhaidhean a chumail fodha rè fàs epitaxial. Le bhith a’ seasamh an aghaidh creimeadh, bleith charboin, agus tasgadh ceimigeach, bidh e a’ gleidheadh ​​​​glainead fad-ùine an t-seòmair agus a’ cur casg air gineadh mìrean a dh’ fhaodadh a bhith ag adhbhrachadh meanbh-phìoban, slocan, agus uireasbhaidhean uachdar air dhòigh eile. Tha cruas àrd, seasmhachd teirmeach sàr-mhath, agus sgaoilidhean fo smachd aig a’ chòmhdach SiC aige, a’ leigeil leis an earrann seasamh an aghaidh cearcall teirmeach a-rithist is a-rithist gun a bhith a’ dèanamh mìrean no a’ crìonadh thar ùine, rud a tha riatanach airson càileachd epi-fhilleadh seasmhach.

A bharrachd air dìon ceimigeach, tha pàirt bhunasach aig an earrann còmhdaich ann an cruthachadh raointean teirmeach. Le bhith a’ meadhanachadh call teas rèididheach agus a’ daingneachadh nan suidheachaidhean crìche teòthachd faisg air mullach no ballachan-taobh an t-seòmair, bidh e a’ cuideachadh le bhith a’ cumail suas àrainneachd theirmeach èideadh agus ath-riochdachadh, a bheir buaidh dhìreach air sgaoileadh ìre fàis, èideadh dopaidh, agus casg air uidheaman locht a tha air an stiùireadh le teòthachd. Ann an epitaxy SiC, faodaidh eadhon atharrachaidhean beaga ann an claonaidhean teirmeach buaidh mhòr a thoirt air giùlan dì-ghluasad plèana bunaiteach no buaidh a thoirt air morf-eòlas uachdar epi; mar sin, tha coileanadh a’ phàirt seo a’ cur gu dìreach ri èideadh ìre wafer agus càileachd epitaxial iomlan.

Tha tabhartas an Earrainn Còmhdaichte SiC ri riaghladh sruthadh gas a cheart cho cudromach. Tha a geoimeatraidh air a innleachadh gus slighean sruthadh ro-ruithear a chumadh agus a riaghladh, suidheachaidhean sruthadh laminar a bharrachadh, agus dèanamh cinnteach gu bheil còmhdach crìche cothromach os cionn plèana an uaifeir. Le bhith a’ brosnachadh daineamaigs ath-bhualadh ìre gas cunbhalach, tha an earrann còmhdaich a’ comasachadh cunbhalachd intra-uaifeir agus uaifeir-gu-uaifeir nas fheàrr thar reactaran ioma-uaifeir. Tha buaidh dhìreach aig seo air prìomh pharaimeatairean leithid ìre fàis, toirt a-steach dopant, dùmhlachd locht, agus an ath-aithris a tha a dhìth le saothrachadh innealan cumhachd an latha an-diugh.

Bho shealladh earbsachd uidheamachd san fhad-ùine, tha buannachdan mòra aig Semixlab Cover Segment. Bidh an còmhdach SiC làidir a’ lughdachadh tasgadh fo-thoraidhean nach eilear ag iarraidh air uachdaran a-staigh mothachail agus a’ lughdachadh tricead chuairtean glanaidh no ath-chur phàirtean. Mar thoradh air an sin, bidh ùine-obrachaidh uidheamachd a’ leasachadh, bidh eadar-amaichean cumail suas a’ leudachadh, agus bidh cosgais iomlan seilbh a’ lùghdachadh - buannachd gu sònraichte brìoghmhor dha factaraidhean a tha a’ sgèileadh an comas cinneasachaidh SiC agus GaN. Tha gach pàirt de Semixlab air a dhèanamh fo inbhean teann airson purrachd stuthan, càileachd còmhdach, agus mionaideachd tomhasach, a’ dèanamh cinnteach à giùlan ro-innseach thar bhaidsean agus a’ toirt misneachd do factaraidhean ann an seasmhachd reactar san fhad-ùine.