Plàta Mullaich Còmhdaichte le SiC airson LPE PE2061S

’S e pàirt structarail a th’ anns a’ Phlàta Mhullaich Còmhdaichte SiC airson LPE PE2061S a chaidh a dhealbhadh gu sònraichte airson a stàladh ann an sòn ath-bhualadh àrd siostam epitaxy ìre leaghaidh LPE PE2061S. Ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh todhar, gu sònraichte ann am pròiseasan fàis LPE, tha ionracas achaidh teirmeach agus smachd air truailleadh deatamach do chàileachd sreath epitaxial. Suidhichte air mullach co-chruinneachadh an reactar, tha pàirt chudromach aig a’ phlàta mhullaich ann a bhith a’ cumail suas geoimeatraidh an t-seòmair, a’ daingneachadh na h-àrainneachd teirmeach, agus a’ gleidheadh ​​purrachd a’ phròiseis a-staigh rè obrachadh fada aig teòthachd àrd.

Taobh a-staigh siostam LPE PE2061S, tha am plàta as àirde air a chuir os cionn a’ phrìomh raon fàis mar phàirt de structar teirmeach dùinte a bhios a’ dearbhadh phàtranan sruthadh teas agus seasmhachd an reactar. Ged nach eil e a’ conaltradh gu dìreach ris an uabhar no an fhuasgladh leaghte, tha na feartan structarail is teirmeach aige a’ toirt buaidh air sgaoileadh teòthachd iomlan taobh a-staigh an t-seòmair. Ann an epitaxy ìre leaghaidh, tha feum air claonaidhean teòthachd mionaideach gus smachd a chumail air ìre fàis, toirt a-steach dopant, agus rèidhlean eadar-aghaidh. Bidh deformachadh, crìonadh uachdar, no neo-sheasmhachd sam bith ann am pàirtean an structair as àirde a’ cur dragh air slighean meòrachaidh teirmeach agus giùlain, ag adhbhrachadh suidheachaidhean fàis neo-èideadh. Bidh Diosgan Mullaich Còmhdaichte SiC Semixlab a’ cumail seasmhachd tomhasach agus cruas structarail rè cearcall teirmeach a-rithist bho 700 ° C gu còrr air 1100 ° C.

Tha am Plàta Mullaich air a dhèanamh à grafait isostatach àrd-ghlanachd agus air a chòmhdach le sreath dùmhail, èideadh silicon carbide (SiC), a’ cothlamadh neart meacanaigeach le dìon ceimigeach adhartach. Bidh an còmhdach SiC ag obair mar bhacadh sgaoilidh gu math neo-ghnìomhach, a’ dealachadh an t-substrate grafait bho cheò ath-ghnìomhach agus stuthan meatailteach a dh’ fhaodadh a bhith an làthair ann an àrainneachdan epitaxy ìre leaghaidh (LPE). Bidh an uachdar còmhdaichte le SiC a’ lughdachadh gu mòr na cunnartan co-cheangailte ri cruthachadh mìrean, sgaoileadh gualain, agus crìonadh co-cheangailte ri creimeadh, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh seasmhach an t-sreath epitaxial.

’S e seasmhachd teirmeach feart cudromach eile den Phlàta Mullaich Còmhdaich Silicon Carbide. Tha seoltachd teirmeach sàr-mhath agus strì an aghaidh clisgeadh teirmeach aig Silicon Carbide, a’ comasachadh sgaoileadh teas èideadh agus a’ lughdachadh dùmhlachdan cuideam ionadail rè chuairtean teasachaidh is fuarachaidh. Bidh am plàta mullaich a’ comasachadh cruthachadh raon teirmeach seasmhach agus ro-innseach taobh a-staigh reactar PE2061S, a’ toirt taic do chumhachan fàis epitaxial ath-aithriseach agus a’ neartachadh cunbhalachd baidse gu baidse. Ann an àrainneachdan cinneasachaidh epitaxy ìre leaghaidh (LPE) àrd-chruinneas, tha cumail suas co-chothromachd reactar agus lughdachadh deformachadh teirmeach deatamach airson smachd pròiseas teann a choileanadh.

Bidh Plàta Mullaich Còmhdaichte SiC aig Semixlab airson LPE PE2061S a’ dol tro smachd càileachd teann agus deuchainnean factaraidh gus dèanamh cinnteach à cunbhalachd mionaideach ann an greamachadh còmhdach, cunbhalachd tighead, ionracas uachdar, agus cruinneas tomhasach. Tha an co-phàirt seo air a dhealbhadh gu sònraichte airson co-chòrdalachd le ailtireachd siostam PE2061S, a’ dèanamh cinnteach à co-thaobhadh mionaideach agus amalachadh gun fhiosta le co-chruinneachaidhean reactar epitaxial. Aig an aon àm, tha am Plàta Mullaich na cho-phàirt reactar deatamach a tha a’ toirt taic do epitaxy ìre leaghaidh àrd-inbhe. Taobh a-staigh phròiseasan epitaxial LPE, tha pàirt riatanach aig a’ phàirt seo ann a bhith a’ neartachadh smachd truailleadh, a’ cumail suas coileanadh teirmeach seasmhach, agus a’ leasachadh earbsachd obrachaidh fad-ùine ann an àrainneachdan saothrachaidh leth-chonnsachaidh coimeasgaichte adhartach. Tha sinn a’ coimhead air adhart ri ceistean a bharrachd bhuaibh.